Équipement de traitement de surface pour moules par injection plasma
Machine de nettoyage plasma avancée conçue pour l'industrie des semi-conducteurs et de l'optoélectronique, dotée d'une technologie plasma allemande de pointe et d'une ingénierie de précision pour des performances de traitement de surface supérieures.
Présentation du produit
Cette machine de nettoyage plasma sous vide compacte utilise une technologie de couplage inductif et excelle dans les tubes et composants micro-ondes isolants. Idéale pour le traitement de produits sensibles nécessitant des normes de propreté élevées, elle traite efficacement les plastiques, les matériaux biochimiques, le PDMS, le verre, les semi-conducteurs métalliques, les céramiques, les composites, les polymères et d'autres matériaux pour obtenir un nettoyage de surface supérieur, une stérilisation, une amélioration de la mouillabilité, une modification des propriétés de surface et une force de liaison améliorée.
Caractéristiques principales
- Optimisé pour la production à petite échelle et les applications de recherche scientifique
- Conception compacte avec une utilisation et une maintenance faciles
- Technologie plasma allemande de pointe pour des performances fiables
- Construction en acier inoxydable 316 importé résistant à la corrosion
- Contrôle de débit de précision avec vannes à aiguille importées
- Canaux de gaz réactifs à double processus pour des applications polyvalentes
- Options de personnalisation disponibles pour des exigences spécifiques
Spécifications techniques
| Paramètre |
Spécification |
| Degré de vide |
30Pa-100Pa |
| Débit de gaz |
0-100ml/s |
| Temps de nettoyage |
Réglable (1-9999s) |
| Mode de refroidissement |
Refroidissement par air |
| Canaux de gaz |
Gaz de travail bidirectionnel (Argon, hydrogène, oxygène, azote, air, etc.) |
| Systèmes de contrôle |
API + Écran tactile |
| Température de la cavité sous vide |
<50 °C |
| Pompe à vide |
Pompe à huile/pompe sèche (en option) |
| Alimentation |
AC220V (±10V) |
Des équipements spécialisés peuvent être personnalisés pour différentes formes de matériaux, tailles et exigences de capacité de production.
Composants de l'équipement
Le système de nettoyage plasma se compose de cinq composants principaux :
- Chambre de réaction : Comprenant une chambre à vide et des électrodes, fournissant l'espace de réaction plasma pour le traitement des articles
- Système de vide : Comprend un manomètre, une pompe à vide et une tuyauterie pour évacuer l'air et maintenir des niveaux de vide optimaux
- Système de décharge : Fournit l'énergie pour exciter l'ionisation du gaz réactif et générer le plasma requis
- Système de contrôle électronique : Contrôle le fonctionnement de l'équipement selon les paramètres de processus optimaux et maintient la stabilité
- Système de contrôle du débit d'admission : Comprend des débitmètres et des électrovannes pour un contrôle précis du débit de gaz et le maintien du vide
Procédure de fonctionnement
- Ouvrir la porte de la chambre à vide, placer les articles à traiter et fermer la porte en toute sécurité
- Activer l'interrupteur d'alimentation principal et configurer les paramètres via l'interface de l'écran tactile
- L'équipement exécute automatiquement les paramètres définis (vide → admission d'air → décharge → vide)
- Un buzzer signale la fin du cycle de traitement
- Ouvrir la porte de la chambre et retirer les articles traités
Principes de la technologie plasma
Introduction au plasma
Le plasma représente le quatrième état de la matière, aux côtés du solide, du liquide et du gaz. En utilisant des particules de haute énergie, le plasma permet l'activation de surface, la gravure et la décontamination par des réactions physiques et chimiques, améliorant les propriétés de surface des matériaux, y compris le coefficient de friction, l'adhérence et l'hydrophilie.
Effets du nettoyage plasma
La technologie de nettoyage plasma exploite les caractéristiques du plasma à basse température pour nettoyer chimiquement et physiquement les surfaces des matériaux, améliorant la douceur, implantant de nouveaux groupes fonctionnels chimiques et permettant une gravure précise.
Nettoyage et activation de surface
Formation de groupes fonctionnels
L'introduction de gaz réactifs dans le gaz déchargé crée des réactions chimiques complexes sur les surfaces des matériaux activés, générant de nouveaux groupes fonctionnels tels que les hydrocarbures, les amidogènes et les carboxyliques qui améliorent considérablement l'activité de surface.
Gravure plasma
La gravure plasma élimine les substances gazeuses volatiles générées en créant du plasma à partir de gaz sélectionnés et de matériaux de surface solides. Ce processus de plasma réactif offre des taux de gravure et une uniformité élevés, les paramètres du plasma influençant de manière critique l'efficacité de la gravure.
Processus de nettoyage plasma
Avantages du nettoyage plasma
- Alternative écologique au nettoyage humide traditionnel (sans COV)
- Faibles coûts d'exploitation utilisant du gaz comme milieu de réaction (oxygène)
- Large gamme d'applications sans discrimination de matériaux
- Haute efficacité de nettoyage avec des capacités d'automatisation
- Élimination simultanée de la saleté et amélioration des propriétés de surface
Comparaison des performances
La mesure de l'angle de contact détermine la mouillabilité des liquides sur les surfaces solides. Les angles inférieurs à 90° indiquent des surfaces hydrophiles avec une meilleure mouillabilité à des angles plus petits, tandis que les angles supérieurs à 90° indiquent des caractéristiques hydrophobes.
La mesure de la valeur Dyne évalue la capacité de liaison de surface des matériaux dans les applications d'impression, de revêtement, de laminage et de soudage. Des valeurs Dyne plus élevées indiquent des performances de liaison supérieures avec d'autres matériaux.
Applications courantes
Modification de surface des matériaux polymères pour améliorer les propriétés de liaison
Élimination des résidus d'oxyde des composants électroniques pour améliorer la qualité et l'efficacité de la liaison
Élimination des contaminants organiques des substrats en verre
Élimination de l'huile des surfaces métalliques
Modification du nettoyage du graphène et des poudres
Liaison activée de surface PDMS
Assurance qualité et service
Garantie complète de 1 an avec assistance technique pendant toute la période de garantie. Documentation complète et formation fournies pour une utilisation et une maintenance optimales de l'équipement.
- Documentation technique complète comprenant les manuels d'utilisation, de mise en service et de maintenance avec schémas électriques, de circuits de gaz et de tuyauterie
- Instructions détaillées pour la préparation de l'installation
- Formation à distance complète couvrant le fonctionnement normal, la réparation, la maintenance, l'analyse des problèmes et les procédures d'urgence
- Assistance technique et documentation de garantie avec informations de contact
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